晶圆厂:为什么是国产芯片的卡点?
国际半导体产业协会曾经预测,随着芯片需求不断上升,将带动全球半导体晶圆厂产能持续成长,2025年圆晶厂产能将达到每月3370万片8英寸晶圆约当量的历史新高,这其中的大约1000万片将在中国大陆制造完成,中国台湾和韩国合计也大致会有1000万片。
作为芯片行业的关键点,晶圆厂不再只是制造芯片的工厂。它们是未来算力的根基,是数字工业的基座。但建造一座晶圆厂,远比想象复杂。成本高昂,周期漫长,技术门槛极高,这也大大制约了中国芯片行业的发展,一定程度上造成了国内高端芯片产能不足的现状。
建造一座圆晶厂到底需要多少资本?又有哪些困难呢?
一、造一座晶圆厂,要多少钱?
建晶圆厂,首先是巨额投入。
一座当下最先进制程的晶圆厂,保守估计,投资额可达200亿美元。而且这还不是一次性投入,而是持续烧钱。设备更新、工艺迭代,每一步都在吞噬资本。
圆晶厂的设备成本占到70~80%。就设备成本而言,最大的支出通常是光刻机,一台EUV光刻机,价格动辄上亿美元,而一座晶圆厂可能需要几十台,单是光刻机购置费用就可达到整个工厂成本的20%。另外,刻蚀设备占比约20%-25%,薄膜设备占比约 15%-17%,这三者合计占比约 53%-63%,为前道制程中主要的设备投资。
厂房建设也不简单。 洁净室要求极高,空气中每立方米不能有超过100个微粒。 这意味着建筑成本远高于普通工业厂房,一个正常的厂房成本一般可达40-60亿美元。其中设计成本5%,土建成本35%,机电系统成本30%,洁净室成本35%。
除此之外,晶圆厂制造周期也非常漫长。从选址到投产,至少需要3到5年。 其中,审批流程就可能耗费一年以上。环保评估、土地规划、能源配套,每一步都不能跳过。审批过后的建设周期也不会太短,正常情况下,晶圆厂的建设周期1年半是起步,3年以上也非常正常。
二、技术门槛:先进制程的挑战
建厂容易,造芯难。
目前主流制程已进入3纳米时代。 每一次制程升级,都意味着工艺复杂度指数级提升。
例如,3纳米制程需要使用EUV光刻技术。 这项技术对设备精度、材料纯度、工艺控制要求极高。稍有偏差,就可能导致良率下降。而当下,国内光刻机又很大程度上要依赖荷兰阿斯麦等公司出口,在美国的影响下,国内公司几乎拿不到最先进的EUV光刻机。
目前,国内EUV正在加速自研:中国已布局3000亿元预算,力图在 2025–2030 年间实现国产EUV光刻机示范验证。SMIC中芯国际、华虹、Nexchip/晶合集成 等厂商加快 28nm 产能扩张,预计到 2027 年国内份额达 31%。
此外,先进制程还需配套材料。 高纯度硅片、特殊光刻胶、低介电常数材料,缺一不可。这些材料也并非唾手可得,全球只有少数几家供应商能提供。 这也导致晶圆厂时常面临材料瓶颈。
晶圆厂的生产耗材成本占到总成本的5%,其中主要包括晶圆原材料、气体、化学试剂、零部件等耗材。其中,硅片、光掩膜版、电子特种气体、光刻胶及附属产品、CMP抛光材料、湿法电子化学品、靶材等都是制造过程中的关键材料。
此外,工厂的运营成本也不是个小数字。
这其中,研发投资占总支出的比例较高。研发投入的资金可能在长期运营中占据5%到10%的比例。投产后的持续优化阶段虽然运营成本较低,但折旧仍然是持续的负担,尤其是设备的折旧,每年都需要进行规划和预算,一般厂房折旧10-20年,费用0.25亿-0.5亿美元/年,设备折旧在5-10年,折旧费用8-10亿美金/年,平均到单片晶圆占了接近一半的成本。晶圆厂在量产后的2-3年开始盈利,在运行良好的情况下(如良率的稳定产能利用率85%以上),第5年进入盈利的高峰期。
三、中国晶圆正在突围
目前全球晶圆厂主要集中在少数几家企业手中。
台积电、三星、英特尔是三大巨头。 他们掌握先进制程,拥有成熟产线。
在技术封锁等情况下,国内晶圆生产面临着非常大的难度。面对困境,中国芯片产业正在5个方向寻找突破口。
制程突围: 推动28纳米以下制程国产化,逐步向14纳米、7纳米迈进。 重点攻克EUV设备、关键材料、工艺流程。
模块化发展: 采用Chiplet技术,将复杂芯片拆分为多个模块。 降低设计难度,提高良率与灵活性。
智能化晶圆厂: 引入AI技术,实现生产流程智能调度与质量预测。 打造“数据驱动”的晶圆制造体系。
绿色制造: 晶圆厂耗水量巨大,碳排放高。 未来将采用循环水系统、绿色能源、低碳材料。
人才战略: 加强高校与企业合作,培养芯片设计、工艺、设备等多领域人才。 推动“产学研”一体化发展。
晶圆厂建设不仅是技术问题,更是战略问题。它涉及国家安全、产业链稳定、科技自主。
四、AI时代的变局:需求爆炸,算力为王
AI正在重塑芯片需求。
大模型训练需要海量算力。 这推动高性能芯片需求激增。 而高性能芯片,必须依赖先进制程。
这意味着晶圆厂的重要性空前提升。它不再只是制造工厂,而是算力的源头。
同时,AI也在改变晶圆厂运作方式。 智能调度、故障预测、质量检测,AI都能参与。 这提升了生产效率,也降低了运营成本。
未来,晶圆厂可能成为“智能工厂,并更加模块化。
很多工厂都在尝试将复杂工艺拆分为多个模块,便于管理与升级。这有助于降低建设成本,提高灵活性。
对于晶圆制造商,特别是国内制造商来说,未来将要面对的变化只会越来越多。