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今年的中国工博会上，两个名字格外吸睛：上海微电子 和芯碁微装 。一个是国内唯一能做整机的光刻机厂商，一个是先进封装直写光刻设备的代表。两家公司几乎同时抛出“重磅新品”，在现场引爆话题。

背后对应的是国产光刻机产业真正的“0—1”突破：先进封装机台进入量产、干法DUV（深紫外光刻机）启动客户侧量产测试、EUV（极紫外光刻机）原理机——即概念验证机——首次亮相 。这一系列事件，意味着国产光刻机从“能不能做”进入“能不能上量”的新阶段。很多机构用一句话来形容——2025年是国产光刻机的爆发元年 。

一、国产光刻机的三重突破

细看今年的三大进展，可以更直观理解“爆发元年”的含义。

这三点叠加，构成了国产光刻机“0—1”的突破。以前我们讨论的是“有没有”，现在开始要问“能不能量产”。

二、技术难点：为什么EUV最难？

很多人会问，既然国内能做DUV，为什么EUV迟迟不见落地？

原因有三：

也正因为如此，全球只有ASML能大规模交付EUV。日本尼康、佳能早就放弃，国内则从零起步。因此，哪怕只是“参数图+概念验证机”，也足以被视为国产EUV的历史性跨越。

三、政策与需求双轮驱动

国产光刻机加速，不是偶然。

四、产业链上的公司观察

国产光刻机的故事，并不仅仅在整机厂，还在于庞大的配套环节。

整机层面 ：上海微电子已实现90纳米机台量产，28纳米浸没式机台在研，EUV目前停留在“参数图+概念验证机”阶段。值得注意的是，张江高科近期股价再创历史新高。它通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司向上海微电子投资了2.2345亿元，持股比例10.779%，此后未有进一步增减持动作。这说明资本层面对国产光刻机龙头的布局早已开始，并在二级市场获得反馈。

先进封装设备 ：芯碁微装的直写光刻设备已在多家客户实现出货和复购，性能指标能满足先进封装需求。

光学元件 ：波长光电、蓝特光学、永新光学在反射镜、聚焦镜、平行光源等环节逐步切入，已在部分封装与检测场景落地。

材料环节 ：江丰电子在年报中披露，其多层钛合金扩散焊接项目能制备28纳米以下节点光刻机冷却部件，已进入量产阶段。

其他环节 ：富创精密、同飞股份、广立微、大族激光、华辰装备等，在结构件、检测、激光装备方面都有参与。

券商观点也在提示新机会。例如，国金证券表示：国产整机预计近期进入量产线验证，i线光刻机（i-line，即365纳米汞灯光源）在前道工序（指晶圆加工环节）的验证接近尾声。由此，上游核心零部件公司可能迎来补单行情，产业链进入“验证—加单—放量”的节奏。

市场层面，截至9月下旬，A股光刻机概念公司超过40家，机构覆盖度较高：芯碁微装、江丰电子、富创精密、蓝特光学等均获10多家机构关注；同飞股份、广立微、美埃科技、大族激光等也有五家以上机构评级。

成长性预期同样明确：富创精密、同飞股份、广立微、大族激光、茂莱光学、华辰装备、炬光科技等，被机构一致预测2026–2027年净利增速超30%；芯碁微装、江丰电子、蓝特光学、永新光学、华特气体等，普遍预测两年净利增速超20%。

资金面也提前表态。区间统计显示，截至9月中下旬，腾景科技、芯碁微装、炬光科技、波长光电等公司，融资净买入规模已超亿元（以交易所两融数据为口径）。

公司分层表

五、未来路径与不确定性

那么，国产EUV到底什么时候能用？

现实判断是：短期内别期待能在先进制程大规模使用 。即便原理机搭建成功，也需要5–10年的迭代，才能走到量产和商业应用。这不是钱的问题，而是工程体系的积累。

在封装、成熟工艺、科研实验平台等领域，国产设备有机会快速渗透，形成先“有市场”，再逐步追赶的模式。

需要强调的是，设备产业化路径通常是：样机/概念验证 → 客户侧测试 → 量产线验证 → 批量交付 。当前DUV正处在客户测试到量产线验证的过渡期，EUV仍在概念验证阶段。任何时间预测都存在较大不确定性，需以企业公告与第三方验证为准。

同时要看到，市场炒作与现实进度之间往往有巨大落差。光刻机概念股动辄大涨停，但真正的设备研发是一场马拉松，而不是百米赛跑。投资者要区分“故事”和“事实”，避免被短期情绪带偏。

六、结语

国产光刻机正在经历一场真正的加速。先进封装机台进入量产、DUV走向客户测试、EUV概念验证机首次公开亮相，这些信号叠加，标志着国产设备从“可行性”进入“产业化路径可见”的阶段。

EUV的路依然漫长，短期无法替代ASML，但只要原理机站稳，未来就不再是零。正如业内一句话：“光刻机是皇冠上的明珠，但珠子再亮，也要一颗颗磨出来。”

对投资者来说，整机厂是长期故事，真正的机会可能在光学材料、精密部件、封装设备等配套环节。国产化大潮已经起步，谁能率先跑出确定性，谁就能在这场硬科技长跑中笑到最后。