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当阿斯麦（ASML）稳坐光刻之巅，拉姆研究（Lam Research）称霸刻蚀设备，中国也有了一个能进入同一张桌子的名字——中微公司。

中微是一家做芯片制造设备的公司，通俗点说，它造的是“让芯片长出来的机器”。这些设备被用在晶圆厂里，用来“刻电路”“镀薄膜”“长材料”，是造芯片最关键的环节之一。

在中国，中微做的是非常难的那部分——刻蚀、薄膜和外延设备，是国内唯一能同时进入先进制程和封装环节的企业之一，被业内称为“中国的拉姆研究”。

这份2025年三季报，既是一份财务报表，也是一份写在资产负债表上的“中国制造进度表”。

一、业绩稳步增长，现金流改善至历史高位

中微公司前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；归母净利润12.11亿元，同比增长32.66%；扣非净利润8.87亿元，同比增长9.01%。

其中，刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，仍是营收核心；LPCVD与ALD薄膜设备收入4.03亿元，同比暴增1332.7%，成为新的增长极。

单看利润，增速略低于收入，但更重要的是结构：毛利同比增加8.27亿元，同时公司加大研发支出，较上年同期增长9.79亿元——这是“用利润换未来”的典型策略。

现金流表现尤为亮眼。前三季度经营活动现金流净额12.98亿元，同比暴增385%。合同负债（预收款）43.89亿元，比年初增长近70%，显示客户提前锁定产能。公司账上货币资金75.07亿元，资产负债率约28%，是一家现金流健康的成长型企业。

值得注意的是，这份现金流的改善来自收款增加，而非压缩支出。中微正在从研发型公司，逐步转向具有成熟经营现金循环的制造型公司。

二、研发投入暴涨63%，费用化比例高，真投入而非“财技”

再次强调，研发，是这份财报的灵魂。

2025年前三季度，公司研发支出25.23亿元，同比增长63.4%，占营收31.3%，显著高于科创板均值。

公司当前在研项目覆盖六类设备、二十余款新品，全面布局从刻蚀、薄膜沉积、外延到化合物半导体设备 的全栈工艺。

新设备开发周期由过去的3~5年缩短至2年以内，标志着研发体系正从“实验室研发”走向“工业化复制”。

更重要的是，财报显示“开发支出”（资产化部分）仅由12.48亿元增至13.31亿元（+6.7%），远低于整体研发支出增速。

这意味着公司研发投入以费用化为主，并未通过资本化手段美化利润。这种真实投入的处理方式，与ASML、LAM等国际龙头的财务治理标准一致。

在国产设备企业普遍追求“账面亮眼”的行业环境中，中微的“真研发”反而成为比较稀缺的底色。

三、技术突破：从60比1到90比1，刻蚀进入单原子级时代

报告提到，公司用于关键刻蚀工艺的60比1超高深宽比介质刻蚀设备已成为国内标配，下一代90比1设备即将进入市场，加工精度和重复性已达到单原子级水平。

这项技术的重要性远超表面数字——它正是AI芯片制程从7nm向3nm、乃至Chiplet堆叠的关键工艺瓶颈。

换句话说，中微的进展不仅是“国产替代”，更是与国际前沿同步。

薄膜设备（LPCVD、ALD）已进入客户验证阶段；硅与锗硅外延EPI设备获得量产认可；化合物半导体设备正陆续出货。

这意味着中微已从单一刻蚀厂商，成长为能够贯穿晶圆制造—先进封装前端 的国产设备平台公司之一。

四、产业地位：少数能打通“晶圆到封装”链路的国产厂商

在全球半导体设备体系中，ASML代表光刻的高度，拉姆研究代表刻蚀的深度，东京电子（TEL）主导薄膜沉积与清洗。

而中微公司，是国内少数能够同时覆盖刻蚀、薄膜、外延、化合物半导体工艺的企业。

这使它在中国晶圆厂国产化浪潮中拥有独特位置——

产品不仅服务逻辑与存储芯片厂，也延伸至AI芯片的先进封装环节。

换句话说，中微已从“替代者”走向“并跑者”，在国际先进制程生态中形成对接能力。

五、资本布局信号：从卖设备到打造产业闭环

三季报显示，非经常性损益3.24亿元，其中股权投资收益3.29亿元，比去年同期多2.75亿元。

这不是偶然的财务浮盈，而是公司开始构建“产业资本闭环”的结果。

中微正通过产业基金、技术入股等方式投资材料、部件及客户侧项目，形成“设备—工艺—资本”的三维联动。

这种模式与ASML持股Zeiss、LAM投资材料供应链的生态打法类似。

六、数据背后的结构：高增长、高订单、高现金

从财务结构看，中微处于典型的“增长兑现期”：

· 合同负债 ：年初25.86亿元 → 三季度43.89亿元（+69%），客户提前锁单；

· 应收账款 ：年初13.52亿元 → 20.93亿元（+55%），反映出业务规模扩大；

· 存货 ：年初70.39亿元 → 81.94亿元（+16%），对应交付节奏爬坡；

· 经营活动现金流净额 ：12.98亿元，同比增长385%，创公司历史新高；

· 货币资金 ：75.07亿元，账面现金依然充裕。

这组数据的组合，意味着公司正处于“高研发—高增长—高现金流”的良性循环阶段：订单充足、交付爬坡、现金回流顺畅，而非资金紧绷或被动扩张。

七、总结

前三季度扣非净利润同比仅增长9%，第三季度同比增长5.38%，看似承压，实则是主动投资周期的特征。

研发费用暴涨、毛利再投入、股权投资扩展、现金流改善，构成中微从国内龙头向全球对标拉姆研究（Lam Research）迈进的轨迹。

这份财报展示的不只是业绩，更是一种产业气质：

——敢在利润周期里压研发；

——敢在技术代差期里加投入；

——敢用财报的现实去支撑战略的未来。

未来，当90比1刻蚀设备量产、薄膜设备全面进入客户产线，国产设备的“并跑时代”或将真正来临。

阿斯麦定义光刻的高度，拉姆研究定义刻蚀的深度，而中微公司——在国产替代之路上注定会留下姓名。